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            技術(shù)文章

            真空井式坩堝爐詳細(xì)參數(shù)及原理

            技術(shù)文章

            本設(shè)備是由石英坩堝(或氧化鋁陶瓷坩堝)和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護(hù)下的高純度化合物或擴(kuò)散半導(dǎo)體晶片,也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。

            真空井式坩堝爐參數(shù)說明

            型號

            AFD-1200T

            AFD-1400T

            AFD-1700T

            工作溫度

            >1200℃

            >1400℃

            >1700℃

            加熱元件

            電阻絲

            硅碳棒

            硅鉬棒

            熱電偶

            K型

            S型

            B型

            控溫方式

            31段可編程自動控制,PID調(diào)節(jié)控溫度

            升溫速率

            0-10℃

            0-20℃

            控溫度

            ±1℃

            大真空度

            -0.1MPa

            爐膛材料

            氧化鋁陶瓷纖維板

            爐殼

            雙層爐殼,風(fēng)冷結(jié)構(gòu)(爐底安裝兩個散熱風(fēng)扇),爐殼表面溫度低于60度

            額定功率

            1KW—8KW

            常用爐膛尺寸

            Φ240xH220mm;Φ40xH300mm;Φ60xH300mm;

             Φ80xH300mm;Φ100xH300mm;Φ120xH300mm

            聯(lián)


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